本系统带有一台精密的臭氧发生器，用来对臭氧分析仪做校准及氮氧化物（NO）的滴定，以产生二氧化氮（NO2）。臭氧源适用作一个转换标准，从而无需用其他臭氧转换标准进行检查和校准。          

可选的内置紫外吸收光度计是一台完整的紫外臭氧分析仪，它可独立使用以监测产生的臭氧或作为臭氧发生器继动控制回路的一部分。          

可选的内置渗透炉可有效地用于产生精确浓度的气体去校准大范围的气体分析仪。大容量的炉体适用于许多型号和尺寸的渗透装置。一个内置的干净空气输送通道，精密质量流量控制器和温度控制器保证了气体发生过程的高精确度。 

技术参数：

气动部分：  

流量精度：满刻度的±1.0% 

流量可重复性：满刻度的±0.15% 

流量线性：满刻度±0.5% 稀释气：  

质量流量控制器量程：0-10SLPM（可选0-20SLPM）

 输入压力：20—35psig 接口1（可选接口2） 

源气：  质量流量控制器量程0—100SCCM（可选0-50，0-200，0-500SCCM，0-1SLM） 可选第二源质量流量控制器 

输入压力：20-35psig  3个气瓶输入接口（可选3个附加口） 

源集气管排气口 可选内部渗透炉  可用流量控制器选择稀释比率变化，加上第二个源流量控制器用于更大动态量程 电磁阀用于稀释器，源和排气口 8个校准气体输出口 可选聚四氟乙烯电磁阀  聚四氟乙烯气相滴定反应室符合EPA标准 95%设置点完成少于60秒  接触气体的材料均为不锈钢，聚四氟乙烯TeflonTM、PEEKTM或HalarTM；所有的套接口材料使用VitonTM或CalrezTM和其他相似材料密封。 

可选内部渗透炉：  玻璃炉燃烧室长13.2cm, 内径3.02 cm, 容积94 cm3, 开放直径2.54 cm 栽气预加热器  炉操作温度保持在设置点3℃，高于环境60℃的+0.1℃ 预热时间少于30分钟  

100SCCM的标定运载流量保持在使用精密质量流量控制器的1%之内 带入口过滤器的内部供气通道，高效接口过滤器和污染涤除气罐