如果在建立样本或工件的校准或测量前SJ-400已经安装了,必须实行“向上/向下测量(调整驱动/探测单元的高度)以及”水平测量(调整驱动/探测单元的斜度)。
4.2.1 向上/向下测量
实行向上/向下测量时,使用高度/倾斜调整单位和简单的立柱(可选).
■ 用高度/倾斜调整单位进行向上/向下测量
通过旋转在高度//倾斜调整单位上的向上/向下旋钮,调节驱动/探测装置的高度以便触头适当地接触样品或工件测量表面。触针适当接触后检查主屏幕上电平指示仪。
■ 用简单的立柱进行向上/向下测量
使用简单的立柱可以调节驱动/探测装置向上/向下测量。
4.2.2 零点校准
■ 校零程序
第二个主屏幕或DAT measure屏幕二者中任一个都可以实行校零。
假设当前触针指向零点,实行二个校零程序中的任一个都允许SJ-400实行测量和计算。
不过,校零的实行范围限制触针物理位置在±100um范围内。如果触针物理位置超出±100um范围实行校零,其结果是错的。在这种情况下,要重新进行校零以使偏离物理位置的触针回到±100um范围内。 4.2.3 水平测量
针对水平测量驱动/探测装置,DAT功能调整程序和目视调整程序均是有效的。
DAT功能是一个“水平测量支持功能”。使用这个功能可以精确地水平测量驱动/探测装置。如果不需要精确水平测量,可以使用目视调整程序。
■ DAT功能
水平测量运行,视觉上做到精细调节可能有困难如驱动/探测装置极um向上/向下的移动。因此,SJ-400配置DAT功能,它将显示带数字触摸屏上向上/向下移动。
在SJ-400屏幕上显示向上/向下移动情况,如高度-倾斜调整装置倾斜按钮的转动数字或水平工作台的调整数据. Tip提示:使用水平工作台时,简易的柱体是必须的。关于如何使用柱体的资料,请参考10.1节“简易柱体”。
■ 带DAT功能的倾斜调整
在触摸屏的主页上使用DAT功能实行DAT测量,以及根据测量结果调节高度-倾斜调整装置或水平工作台,方法如下:
1. 在主页上触摸“DAT”按钮,显示DAT测量屏幕。
2. 如果高度-倾斜调整装置是用水平测量,打开屏幕通过触摸“倾斜调整数量装置“按钮显示倾斜旋钮的转动
数量。如果使用水平工作台测量,进入程序3。
3. 如果使用水平工作台,通过按“ZERO/ABS“按钮进行零位设定计量显示器数值,如果使用高度-倾斜调整
单元,进入程序4。
4. 在显示装置上按“START/STOP”键。实行DAT测量。水平测量调整数量在屏幕上显示出来。
5. 为了防止探测器或触针的损坏,在调整倾斜前,将触针从工件上移开。
高度-倾斜装置:通过顺时针转动倾斜按钮来升高驱动/探器装置。