尘埃粒子计数器是用来测定洁净空气中离散粒子的粒径及其粒子浓度的,从而确定洁净室和洁净环境的洁净度等级。也可以用来测定净化台和过滤器的性能检测。校准尘埃粒子计数器主要用单分散标准粒子和尘埃粒子发生测量装置。本文通过对尘埃粒子计数器的校准,分析其各不确定度分量的来源,并对尘埃粒子计数器测量不确定度进行评定。
一、概述
依据JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》,对尘埃粒子计数器进行测量。主要测量尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差,所以这里对尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差的测量不确定度进行评定。