引言
许多工业厂房对厂内的空气洁净度有一个很
高的要求,洁净厂房的洁净级别常以单位体积的
空气中最大允许的颗粒数即粒子计数浓度来衡
量。旧的美国联邦标准209E“洁净室及洁净区
中空气悬浮粒子洁净度级别”[1]已经在2001年
11月29日被新的国际标准IS014644-1“洁净室
及相关受控环境,第一部分:空气洁净度等级”
和IS014644-2“洁净室及相关受控环境,第二部
分:认证IS014644-1相符性的测试和监测技术
条件”[z]所取代。为了和国际标准尽快接轨,
我国根据ISO 14644制定了新的国家标准
GB50073 -2001“洁净厂房设计规范”[3],此规
范已在2002年1月开始执行。在国际标准
IS014644和国家标准GB500073 -2001中洁净室
的洁净度划分为9级。
光散射式尘埃粒子计数器是用来测量空气洁
净度的重要仪器。在安装好的洁净室的实际测量
中经常发现,使用不同的粒子计数器得到的测量
结果相差很大,有时差值差到一个数量级。这种
测量偏差直接影响洁净室环境的洁净级别的最终
要搞清引起测量结果偏差的原因。
另外,当采用国标GB 12218-89“一般通风
用空气过滤器性能试验方法”用大气尘分组计数
法检测粗、中、高中、亚高效过滤器时,必须用
一台或两台粒子计数器同时测量过滤器的上下风
侧气流中粒径大于或等于某一粒径(例如0.5 , 1
或5微米)的粒子浓度,然后计算过滤器的在相
应粒径下的计数效率。但是在直接使用粒子计数
器测量时,经常产生“负”效率的测量结果,即
过滤器下风侧的粒子浓度高于过滤器的上风侧浓
度,造成受试过滤器上、下风侧气流中大气尘计
数浓度之差为负值。此时表明测量结果肯定有很
大的误差,产生误差的原因是粒子计数器的计数
测量结果。