1 范围

ISO 14644 的本部分是根据空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁

净度的等级。只有在 0.1μm-0.5μm 的阈值（低于阈值）粒径范围内呈累积分布的粒子群体

才可供分级用。

ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm-0.5μm 规定粒径范围以外的粒子群体的分级。超微

粒子（＜0.1μm ）和大粒子（＞0.5μm）可分别以 U 描述符和 M 描述符来量化粒子群体。

ISO 14644 的本部分不能用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性或生存性。

注 粒径遵纪守法增范围内粒子浓度的实际分布情况通常是不可预测的，并且是随着时间而变化的。

2 定义

下述定义适用于 ISO 14644 的本部分

2. 1 通则

2. 1. 1

洁净室

空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和

滞留粒子，室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。

2. 1. 2

洁净区

悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和

滞留粒子，空间内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。

注：该区可以是开放式或是密闭式，可以位于或不位于洁净室内。

2. 1. 3

设施

洁净室或一个或多个洁净区，连同所有相关的构筑物、空气处理系统、动力和公用设施。

2. 1. 4

分级

适用于一个的悬浮粒子洁净度等级（或规定或确定该等级的过程），以 ISO 等级 N 来表

示，它表示所考虑的粒径的最大允许浓度（以 pc/m3 空气计）。

注 1 此浓度用 3.2 中的公式（1）确定。

注 2 按照本国际标准进行分级，限定在 ISO 1 级至 ISO 9 级。