科技的进步、芯片的广泛应用、医学与药物的高速发展及生物工程的发展,对洁净环境提出了更严格的要求[1]。对于洁净受控环境而言,最关键的环境保障设施就是送风系统的最后一级空气净化装置———高效及超高效过滤器。因此,对于这些高风险控制要求的洁净室用户来说,不仅需要保证选择合适的过滤器产品,还必须保证在过滤器安装后,不论是过滤器本身,还是过滤器的安装边框都应完好,不存在局部漏泄缺陷。所以在高效过滤器安装后,要对其进行现场检漏测试。对送、排(回)风高效过滤器,应采用扫描法在过滤器与安装框架接触面、过滤器边框与滤纸接触面以及其全部滤芯出风面上进行现场检漏[2]。近年来,基于粒子计数测试的高效过滤器扫描检漏测试得到了越来越广泛的应用。但是国内外的标准和规范中,对于扫描检漏时的上游浓度和测试粒径的要求并没有统一的规定。国家标准GB 50591—2010《洁净室施工及收规范》根据国内研究成果[3-4]规定普通高效过滤议首选大气尘,测试粒径≥0.5μm[2];国际标准ISO 14644-3:2005中规定,扫描检漏的测试粒径为0.1~0.5μm,但没有规定上游浓度的最小值[5];欧洲标准EN 1822-4:2009《High efficiency airfilters(HEPA and ULPA)—Part 4:Determiningleakage of filter element(scn method)》建议使用的测试粒径为MPPS(most penetrate particle size,最易穿透粒径,一般为对过滤元件进行粒径效率测试时,最低过滤效率所对应的粒径)的2/3~1.5倍,并规定上游浓度不超过1010粒/L[6];美国标准IEST-RPCC034.2《HEPA filter and in-place leak testingstandard》对测试粒径没有要求,但是要求上游浓度上限为105 粒/(28.3L)(无稀释器)及5×107 粒/(28.3L)(有稀释器)[7]。由于各种标准规的要求不同,在实际检测过程中,选用不同的测试粒径及过滤器上游浓度,是否会影响扫描检漏的精度,是现场扫描检漏中亟待解决的一个问题。该问题已有相关的理论分析[1,4]。本文通过搭建计数法扫描检漏测试试验台,测试了过滤器在不同上游浓度、不同尺寸粒径情况下的局部透过率,并基于试验结果和扫描检漏本文针对国内外标准对扫描检漏的上游发尘浓度和控制粒径要求不一致的情况,通过搭建试验台,测试了过滤器上游气溶胶浓度变化时,不同漏孔、不同粒径下的局部过滤效率。试验结果表明,对于相同漏孔,不同气溶胶浓度和测试粒径下的局部过滤效率测试结果基本一致,气溶胶浓度和测试粒径对过滤器检漏测试无影响,与相关的理论分析结果吻合。在实际扫描检漏过程中,可根据检测的实际情况(浓度及所期望的扫描速度等)选择所需的测试粒径,同时应尽量选择大粒径粒子进行检漏测试,以避免采样流量不同对测试结果产生影响影响因素的理论分析结果,给出了过滤器扫描检测试的若干建议。