高效过滤器一般都在系统风量和各风口风量调整平衡后进行，根据规范要求各风口风量与设计的风量偏差小于15%[2]，这满足被检风口在接近设计风速下进行的条件。所以当风量平衡好后要及时进行高效过滤器泄漏的检测工作。在工程上对于大于5 级（100 级）的净化系统一般采用的粒子计数器的最小粒径通道为0.3 μm，所以被检高效过滤器在上风侧的微粒浓度受粒径为大于等于0.5 μm，其浓度必须大于等于3.5 × 104 pc/L，而一般大气尘的浓度为5.3 × 104 pc/L~2.5 × 105 pc/L[3]，这到了粒子计数器的读数上限范围。许多净化系统进入循环空调箱的新风经过过滤器的处理，其浓度远远小于大气尘浓度，和回风混和后的浓度会更低，在安装好的净化空调系统引入大气，是值得慎重思考的问题。为了保证被检空气过滤器上游粒子浓度的一定要求，而不破坏系统风量的平衡，在上游引入均匀浓度的人工气溶胶是理想的手段。而引入的气溶胶浓度到底需要多少，这其实跟安装的高效过滤器的效率和粒子计数器的分辨率有关。显而易见粒子计数器最小位是个位，最小数为零。测试仪器一般会有死区，如果要求的下游的浓度小于10 颗为合格，这些数据是否有效，按照统计学的原理是很难保证的。现在国内大多以美国DOP试验对0.3 μm的粒子的过滤效率作为高效过滤器的分类。所以采用计数扫描法检漏时，被测粒径应为大于等于0.3 μm，这会对上游浓度有更高要求。按高效过滤器的效率99.97%，采用公式（1）计算，下游浓度保证3个有效数字以内，则要求上游空气中粒径大于等于.3 μm 的微粒浓度至少约为6 × 104pc/L，如果采用效率99.99% 效率的高效过滤器，上游大于等于0.3 μm 的微粒浓度约为2 × 105pc/L，这时上游大于等于0.5 μm 的浓度，远远大于等于3.5 × 104pc/L，采用大气作为尘源已经不能满足测试要求。高效过滤器的安装泄漏检测时，采用大流量的粒子计数器进行采样更为合适，空气采样量越大，采样测试的结果则越具有代表性，准确度也就越高。规范要求1 L/min，而我们使用仪器的采样量大都为0.1 cfm（2.83 L/min），满足此测试仪器的要求。使用移动采样头在高效过滤器下侧采用时，以规格为610 mm × 610 mm 高效过滤器为例，器，采样速度更慢时，检漏扫描的时间更长，这会大大影响检漏的工作效率。如果按照国际规范ISO14644-3《Metrology and test methods》计算扫描速率和可接受观测计数，这对一般工程技术人员掌握这样的计算法则，是比较困难的。今后国家在制定这方面的规范时，对不同级别的高效过滤器，可建议采用合适的采样速率和可接受观测计数，这于工程测试人员实际操作。DOP 粒子扫描正压检漏的应用于规范在实际操作中，在采样时间，所需上游粒子浓度等要求值得检测者注意，在实际工程中可操作性。作者在参与某一制药厂净化车间的高效过滤器的检漏时，结合日本JIS-B-9927、美国FEDSTD-209D 标准，采用Laskin DOP 粒子发生器生大量稳定的符合要求的微粒子，以造成上游大于等于0.3 μm 粒子浓度大于或等于1 × 105 pc /L。在过滤器上游通过压缩空气（冷发生）将DOP微粒均匀喷射在系统内[4]，由于浓度一般大于1 × 105c/L，超出检测仪器测量范围，所以在检测仪器前串联粒子浓度稀释器，使被测浓度在检测仪器测量范围。粒子发生系统及其上游浓度测定系统见图2，采用冷发生气溶胶装置主要因为能稳定快速的发生大量气溶胶。采样速度20 mm/s，采用矩形100 mm × 11.33 mm 采样器[4]，则需要耗时至少约244 s，如采用圆形采样